ПРАКТИЧНЕ ЗАСТОСУВАННЯ РЕГРЕСІЙНОГО АНАЛІЗУ ДЛЯ ОЦІНЮВАННЯ ВПЛИВУ ФАКТОРІВ НА ЧУТЛИВІСТЬ ЄМНІСНОГО СЕНСОРА ВОЛОГОСТІ ДВОШАРОВОЇ СТРУКТУРИ

Анотація

В роботі для оптимізації параметрів виготовлення ємнісного сенсора вологості двошарової структури застосовано метод планування багатофакторного експерименту з регресійним аналізом впливу фактора. За критерієм Кохрена на основі статистичної обробки результатів факторного експерименту доведено, що факторний експеримент є відтворюваним. Розроблено рівняння регресії, на основі якого встановлено, що концентрація розчину солі, яку використано для створення  вологочутливого шару, суттєво впливає на чутливість ємнісного сенсора вологості двошарової структури. За критерієм Стьюдента визначено значущі коефіцієнти рівняння регресії. За критерієм Фішера доведено, що скориговане рівняння регресії є адекватним результатам факторного експерименту. Рівняння регресії в масштабі реальних факторів сприяє оптимізації параметрів створення ємнісного сенсора вологості двошарової структури з максимальним значенням функції відгуку моделі – «чутливість».  Встановлено, що найбільша чутливість 2,36 нФ/% забезпечується за таких оптимальних параметрів процесу виготовлення ємнісного сенсора вологості двошарової структури: концентрація адсорбуючого матеріалу NaCl − 5,33 моль/л, товщина захисного шару – 80 мкм. Зважаючи на те, що товщина вологочутливого шару не впливає на чутливість ємнісного сенсора вологості, товщину цього шару доцільно взяти в діапазоні від 5,0 мкм до 10,0 мкм.