БІЛАК Ю, ШУАІБОВ О, БУЧУК Р, РОЛЬ М. ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ. Herald of Khmelnytskyi National University. Technical sciences [Internet]. 2025 Jan. 30 [cited 2025 Apr. 2];347(1):59-68. Available from: https://heraldts.khmnu.edu.ua/index.php/heraldts/article/view/720