БІЛАК, Ю., ШУАІБОВ, О., БУЧУК, Р., & РОЛЬ, М. (2025). ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ. Herald of Khmelnytskyi National University. Technical Sciences, 347(1), 59-68. https://doi.org/10.31891/2307-5732-2025-347-7