БІЛАК Ю, ШУАІБОВ О, БУЧУК Р, РОЛЬ М. ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ. Herald of Khmelnytskyi National University. Technical sciences. 2025;347(1):59-68. doi:10.31891/2307-5732-2025-347-7