БІЛАК, Ю.; ШУАІБОВ, О.; БУЧУК, Р.; РОЛЬ, М. ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ. Herald of Khmelnytskyi National University. Technical sciences 2025, 347 (1), 59-68. https://doi.org/10.31891/2307-5732-2025-347-7.