[1]
БІЛАК, Ю. et al. 2025. ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ. Herald of Khmelnytskyi National University. Technical sciences. 347, 1 (Jan. 2025), 59–68. DOI:https://doi.org/10.31891/2307-5732-2025-347-7.