Повернутися до подробиць статті
ТЕХНОЛОГІЯ МОДЕЛЮВАННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ПЛАЗМІ ПЕРЕНАПРУЖЕНОГО НАНОСЕКУНДНОГО ГАЗОРОЗРЯДУ ДЛЯ СИНТЕЗУ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК ТА ЇЇ ПРОГРАМНА РЕАЛІЗАЦІЯ
Завантажити
Завантажити PDF